SuperView W1-Pro光學(xué)3D表面輪廓儀是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過(guò)系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量的光學(xué)檢測(cè)儀器。
SuperView W1-Pro光學(xué)3D表面輪廓儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、國(guó)防軍工、科研院所等領(lǐng)域中??蓽y(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國(guó)內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D、3D參數(shù)作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。
1.系統(tǒng)光源及壽命:雙LED光源(白光和綠光),10萬(wàn)小時(shí)超長(zhǎng)壽命,終身無(wú)需更換;
2.測(cè)量模式:垂直掃描干涉模式(VSI),相移干涉模式(PSI),結(jié)合VSI和PSI的自適應(yīng)通用測(cè)量模式(USI)
3.多區(qū)域自動(dòng)分析:自動(dòng)獲取圖案化形貌區(qū)域的三維信息(高度、寬度、面積、體積、粗糙度、傾角等),同時(shí)具有自動(dòng)統(tǒng)計(jì)分析功能。
4.一體化操作的測(cè)量與分析軟件,操作無(wú)須進(jìn)行切換界面,預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進(jìn)行測(cè)量,軟件自動(dòng)統(tǒng)計(jì)測(cè)量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能,即可快速實(shí)現(xiàn)批量測(cè)量功能。
5.測(cè)量中提供自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能、批量測(cè)量、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化功能。
6.測(cè)量中提供拼接測(cè)量功能。
7.分析中提供調(diào)整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,其中調(diào)整位置包括圖像校平、鏡像等功能;糾正包括空間濾波、修描、尖峰去噪等功能;濾波包括去除外形、標(biāo)準(zhǔn)濾波、過(guò)濾頻譜等功能;提取包括提取區(qū)域和提取剖面等功能。
8.分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能,其中粗糙度分析包括依據(jù)國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的ISO4287的線粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全參數(shù)分析功能;幾何輪廓分析包括臺(tái)階高、距離、角度、曲率等特征測(cè)量和直線度、圓度形位公差評(píng)定等功能;結(jié)構(gòu)分析包括孔洞體積和波谷深度等;頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能;功能分析包括SK參數(shù)和體積參數(shù)等功能。
9.分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,設(shè)置分析模板,結(jié)合測(cè)量中提供的自動(dòng)測(cè)量和批量測(cè)量功能,可實(shí)現(xiàn)對(duì)小尺寸精密器件的批量測(cè)量并直接獲取分析數(shù)據(jù)的功能。
對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。
半導(dǎo)體.拋光硅片、減薄硅片、晶圓IC | |
3C電子.藍(lán)寶石玻璃粗糙度、手機(jī)金屬殼模具瑕疵、手機(jī)油墨屏高度差 | |
超精密加工.光學(xué)透鏡 | 精密加工.發(fā)動(dòng)機(jī)葉片 |
精密加工.金字塔型金剛石磁頭 | 標(biāo)準(zhǔn)樣塊.單刻線臺(tái)階、多刻線粗糙度 |
復(fù)合材料測(cè)量 | 西華大學(xué)水機(jī)葉片磨損檢測(cè) |
清華大學(xué)超光滑陶瓷樣件測(cè)量 | 北航超疏水表面形貌檢測(cè) |
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光學(xué)玻璃鏡片樣品測(cè)試報(bào)告 | 金屬片表面摩擦磨損樣品測(cè)試報(bào)告 |
石英砂樣品測(cè)試報(bào)告 | 手機(jī)配件樣品測(cè)試報(bào)告 |
超光滑凹面樣品測(cè)試報(bào)告 | 薄膜粗糙度測(cè)試報(bào)告 |
微光學(xué)器件樣品測(cè)試報(bào)告 | 微納結(jié)構(gòu)樣品測(cè)試報(bào)告 |
微透鏡陣列樣品測(cè)試報(bào)告 |
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